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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
标准号：GB/T 11164-1999
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
英文名称：Vacuum coating plant generic specification
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23.160真空技术
替代以下标准：GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替
起草单位：上海通用机械研究所
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
发布单位：国家质量技术监督局
检测流程步骤
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