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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
标准号：GB/T 22572-2008
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2008-12-11
实施日期：2009-10-01
中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
发布单位：国家质量监督检验检疫.
检测流程步骤
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