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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
标准号：GB/T 14604-2009
标准名称：电子工业用气体 氧
英文名称：Gas for electronic industry—Oxygen
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
替代以下标准：替代GB/T 14604-1993
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
发布单位：国家质量监督检验检疫.
检测流程步骤
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