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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。
标准号：GB/T 14140.1-1993
标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法
英文名称：Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
替代以下标准：被GB/T 14140-2009代替
起草单位：洛阳单晶硅厂
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
检测流程步骤
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