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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于0��1Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。
标准号：GB/T 14144-1993
标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
国际标准分类号（ICS）：29.040.30
替代以下标准：被GB/T 14144-2009代替
起草单位：中科院上海冶金研究所
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
检测流程步骤
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