检测报告图片模板：
检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
标准号：GB/T 17874-2010
标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文名称：Gases for electronic industry-Boron trichloride
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：2011-04-01
实施日期：2011-05-01
中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
替代以下标准：被GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/T
发布单位：国家质量监督检验检疫.
检测流程步骤
免责声明：
1.本站标准库为非营利性质，仅供各行人士相互交流、学习使用，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
2.全部标准资料均来源于网络，不保证文件的准确性和完整性，如因使用文件造成损失，本站不承担任何责任。
3.全部标准资料均来源于网络，本站不承担任何技术及版权问题，如有相关内容侵权，请联系我们删除。
