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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。
标准号：GB/T 16594-1996
标准名称：微米级长度的扫描电镜测量方法
英文名称：Micron grade lenght measurement by SEM
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1996-01-01
实施日期：1997-04-01
中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.01长度和角度测量综合
替代以下标准：被GB/T 16594-2008代替
起草单位：上海市测试技术研究所
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
检测流程步骤
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