GB/T 39158-2020.High purity copper rotatable tube target for flat panel display.
1范围
GB/T 39158规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
GB/T 39158适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其较新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1804-2000一般公差未注公 差的线性和角度尺寸的公差
GB T 5121.27 铜及铜合金化学分析方法 第27部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347铜及铜合 金平均晶粒度测定方法
YS/T 922高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素 含量的测定辉光 放电质谱法
YS/T 1000-2014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
旋转管靶 rotatable tube target
一种平板显示领域用的管状靶材。
注:主要用于电子薄膜沉积。
3.2
表面粗糙度 surface roughness
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度l范围内,轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。
4分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为φ155X 438、φ155X888、φ155X1 091、φ155X888、φ167X2 490。 不同牌号对应的规格见表1。
示例:铜含量为99.995%的旋转铜靶,表示为RCu-4N5。