GB/T 38518-2020.Measurement of coating thickness on flexible film substrate.
1范围
GB/T 38518规定了柔性薄膜基体上涂层(包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。
GB/T 38518适用于厚度不大于3 mm的柔性薄膜基体上厚度为10 nm~0.5 mm的涂层的厚度测量。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其较新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 20307-2006纳米级长度的扫描电子显微镜测量方法通则
3基本方法及原理
3.1截面制备
针对柔性薄膜基体采用机械抛光容易发生扭曲变形或磨粒嵌入等问题,采用氩离子束抛光机可以有效对柔性薄膜基体截面进行抛光,在扫描电子显微镜的二次电子像或者背散射电子像下能够清晰区分柔性薄膜基体与基体上的涂层。
氩离子束抛光机主要由带涡轮真空泵的样品室和用于样品定位的光学显微镜组成。抛光过程中，样品固定在样品座上,在光学显微镜下选择样品抛光区域,然后用遮挡板遮住样品非目标区域仅露出需抛光区域,抽真空后氩气通过离子源产生离子束,经加速、集束后轰击样品抛光区域,与样品表面层发生碰撞,将能量传递给样品表面的原子、分子而使之产生溅射,从而形成对样品的抛光作用。
3.2厚度测量
用扫描电子显微镜在相同加速电压和工作距离下,获取待测样品截面和标准样品的二次电子像或背散射电子像,然后测量出待测样品图像中柔性薄膜基体上涂层的厚度和标准样品图像中的网格长度。结合标准样品的已知长度,计算涂层的厚度。
4标准样品和仪器设备
4.1标准样品.
采用有证书标准样品或省级以上(含省级)计量技术机构标定的样品。
4.2扫描电子显微镜
二次电子像分辨力优于3 nm,背散射电子像分辨力优于5 nn。