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GB/T 1555-2009半导体单晶晶向测定方法

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检测执行标准信息一览:

标准编号:GB/T 1555-2009半导体单晶晶向测定方法

标准状态:现行

标准简介:本标准规定了半导体单晶晶向X 射线衍射定向和光图定向的方法。本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。

英文名称: Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

替代情况: 替代GB/T 1555-1997

中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期: 2009-10-30

实施日期: 2010-06-01

*发日期: 1979-05-26

提出单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

检测流程步骤

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