检测报告图片模板:
检测执行标准信息一览:
标准编号:GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法
标准状态:现行
标准简介:本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
英文名称: Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
替代情况: 替代GB/T 6624-1995
中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
*发日期: 1986-07-26
提出单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
检测流程步骤
免责声明:
1.本站标准库为非营利性质,仅供各行人士相互交流、学习使用,使用标准请以正式出版的标准版本为准。
2.全部标准资料均来源于网络,不保证文件的准确性和完整性,如因使用文件造成损失,本站不承担任何责任。
3.全部标准资料均来源于网络,本站不承担任何技术及版权问题,如有相关内容侵权,请联系我们删除。