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GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

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检测执行标准信息一览:

标准编号:GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

标准状态:现行

标准简介:本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

英文名称: Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

替代情况: 替代GB/T 6624-1995

中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期: 2009-10-30

实施日期: 2010-06-01

*发日期: 1986-07-26

提出单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

检测流程步骤

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