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检测执行标准信息一览：
标准编号：GB/T 14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
标准状态：现行
标准简介：本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm 的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm 的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
英文名称： Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
替代情况： 替代GB/T 14144-1993
中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料
采标情况： MOD SEMI MF 1188-1105
发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期： 2009-10-30
实施日期： 2010-06-01
*发日期： 1993-02-06
提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
检测流程步骤
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