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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
标准号：GB/T 15909-1995
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry－Silane
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
替代以下标准：被GB/T 15909-2009代替
起草单位：化工部西南化工研究院
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
检测流程步骤
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