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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。
标准号：GB/T 15861-1995
标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
英文名称：Generic specification of ion beam etching system
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
替代以下标准：被GB/T 15861-2012代替
起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所
归口单位：信息产业部（电子）
发布单位：国家技术监督局
检测流程步骤
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