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GB/T1558-1997硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。

标准号:GB/T 1558-1997

标准名称:硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

英文名称:Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

发布日期:1997-01-02

实施日期:1998-08-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号(ICS):电气工程>>29.045半导体材料

替代以下标准:替代GB 1558-1983;被GB/T 1558-2009代替

起草单位:峨嵋半导体材料研究所

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家技术监督局

检测流程步骤

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