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检测执行标准信息一览：
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的检测 拉曼光谱法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
标准 推荐性 现行标准《氮化镓衬底片载流子浓度的检测 拉曼光谱法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报，TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行，主管部门为标准化管理委员会。
GB/T 36705-2018主要起草单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、有色金属技术经济研究院 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。
GB/T 36705-2018主要起草人
郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。
GB/T 36705-2018相近标准(计划)
20151534-T-469 氮化镓衬底片载流子浓度的检测 拉曼光谱法20110049-T-469 氮化镓外延片及衬底片通用规范GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 硅外延层载流子浓度的检测 电容-电压法20181807-T-469 硅外延层载流子浓度的检测 电容-电压法 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径检测方法GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽检测方法20120268-T-469 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽检测方法GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
检测流程步骤
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