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检测执行标准信息一览：
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
标准 推荐性 现行标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行，主管部门为标准化管理委员会。
GB/T 37049-2018主要起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、有研半导体材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 。
GB/T 37049-2018主要起草人
鲁文锋 、刘晓霞 、秦榕 、孙燕 、赵而敬 、王桃霞 、赵玉 、王忠慧 、柳德发 、张园园 、银波 、邱艳梅 、刘强 。
GB/T 37049-2018相近标准(计划)
20141873-T-469 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质20073569-T-469 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法20100119-T-469 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法20100116-T-469 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
检测流程步骤
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