SJ 2805-1987《电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法 变温浓缩色谱法》基本信息

标准号：

SJ 2805-1987

中文名称：

《电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法 变温浓缩色谱法》

发布日期：

1987-04-06

实施日期：

1988-01-01

发布部门：

电子工业部

提出单位：

中国电子学会洁净技术学会

起草单位：

电子工业部标准化研究所

中国标准分类号：

A01技术管理

SJ 2805-1987《电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法 变温浓缩色谱法》介绍

SJ 2805-1987《电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法 变温浓缩色谱法》是由电子工业部于1987年4月6日发布的一项国家标准。该标准的实施日期为1988年1月1日。

一、标准适用范围

SJ 2805-1987标准适用于电子级氢中痕量氧、氩、氮的测定。电子级氢是一种高纯度的氢气，广泛应用于半导体制造、电子器件生产、太阳能电池制造等领域。在这些领域中，氢气中的杂质含量对产品质量和性能具有重要影响。因此，准确测定电子级氢中痕量氧、氩、氮的含量对于提高产品质量具有重要意义。

二、标准主要技术内容

1、原理：SJ 2805-1987标准采用变温浓缩色谱法，通过将电子级氢中的痕量氧、氩、氮与载气分离，实现对这些杂质的定量分析。该方法具有高灵敏度、高分辨率、高稳定性等优点，适用于痕量杂质的检测。

2、仪器设备：标准规定了用于变温浓缩色谱法测定的仪器设备，包括色谱仪、气相色谱柱、检测器、恒温箱等。同时，对仪器设备的使用、维护和校准提出了具体要求。

3、试剂和材料：标准对用于测定过程中的试剂和材料进行了规定，包括载气、标准样品、标定溶液等。对试剂的纯度、稳定性、储存条件等提出了要求。

4、分析步骤：标准详细描述了变温浓缩色谱法测定电子级氢中痕量氧、氩、氮的分析步骤，包括样品的采集与处理、仪器的调试、测定过程、数据处理等。对每个步骤的操作要点进行了详细说明。

5、结果计算：标准规定了测定结果的计算方法，包括杂质含量的计算、相对标准偏差的计算等。同时，对结果的准确性、重复性和再现性提出了要求。

6、质量控制：标准对测定过程中的质量控制提出了要求，包括仪器设备的校准、标准样品的使用、测定过程中的监控等。通过质量控制措施，确保测定结果的准确性和可靠性。

三、标准实施与监督

SJ 2805-1987标准作为一项国家标准，对电子级氢中痕量氧、氩、氮的测定具有法律效力。相关企业和检测机构应严格按照标准要求进行操作，确保测定结果的准确性和可靠性。同时，有关部门应加强对标准实施情况的监督检查，对违反标准的行为进行查处。

四、标准修订与更新

随着科学技术的发展和电子工业对电子级氢纯度要求的不断提高，SJ 2805-1987标准也需要不断完善和更新。有关部门应密切关注国内外相关技术的发展动态，及时组织专家对标准进行修订和更新，以适应电子工业的发展需求。

检测流程步骤

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