标准简介:本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
标准号:GB/T 15873-1995
标准名称:半导体设施接口技术文件编写导则
英文名称:Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:1995-01-02
实施日期:1996-08-01
中国标准分类号(CCS):电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
国际标准分类号(ICS):电子学>>电子电信设备用机电零部件>>31.220.10插头和插座装置、连接器
起草单位:中国华晶电子集团公司
归口单位:信息产业部(电子)
发布单位:国家技术监督局
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