标准简介：本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。

标准号：GB/T 15861-1995

标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件

英文名称：Generic specification of ion beam etching system

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1995-01-02

实施日期：1996-08-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学

替代以下标准：被GB/T 15861-2012代替

起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所

归口单位：信息产业部（电子）

发布单位：国家技术监督局

检测流程步骤

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