扫描电镜

SEM

主要配置:

EDS:布鲁克30mm双探测器（分辨率123eV）；

EBSD：定向背散射电子探测器；

高分辨红外CCD；

气体二次电子探测器；

超高真空系统；高真空/低真空/环境真空系统，压差光镧。

抛光机；切割机；脆断/冷镶设备；打磨机

技术参数：

支持环境模式；

分辨率：环境扫描电子显微镜：3-8nm

冷场扫描电子显微镜：0.8-1.2nm

物质的形貌0/尺寸分析、膜层分析、EDS元素分析（定性、定量、线分布、面分布、超级面分布）、活体细胞观察、失效分析、金相分析等。广泛用于材料、化学、生物、医学、地质等各类领域

透射电镜

TEM

主要配置：

单球差校正器；

EDS：INCA能谱仪

离子减薄，激光超薄切片机。

技术参数：

分辨率：亚级

物质的形貌/尺寸观察、电子衍射图片，二维晶格面、明/暗场图片、元素分析（定性、定量、线分布、面分布、超级面分布）。广泛用于材料、化学、生物、医学、地质等各类领域

原子力显微镜

AFM

分辨率：分辨率0.1nm

台阶0.3nm-500nm

物质的表面形貌成像、镜片/磁盘分析、表面粗糙度、纹理质量