标准分类中，俄歇能谱涉及到分析化学、电学、磁学、电和磁的测量、光学设备、光学和光学测量、无损检测、电子元器件综合、金属材料试验。
在中国标准分类中，俄歇能谱涉及到基础标准与通用方法、综合检测系统、电子光学与其他物理光学仪器、化学、化学助剂基础标准与通用方法、光学检测仪器、标准化、质量管理、金属化学分析方法综合。
市场监督管理总局、中国标准化管理委员会，关于俄歇能谱的标准
GB/T 36533-2018 硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法
GB/T 36504-2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱
中华人民共和国质量监督检验检疫总局、中国标准化管理委员会，关于俄歇能谱的标准
GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
GB/T 32565-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱(AES)数据记录与报告的规范要求
质检总局，关于俄歇能谱的标准
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱检测中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性
GB/T 28893-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
GB/T 25187-2010 表面化学分析.俄歇电子能谱.选择百检网仪器性能参数的表述
GB/Z 32494-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析
标准化组织，关于俄歇能谱的标准
ISO/TR 18394-2016 表面化学分析. 俄歇电子能谱学. 提取化学信息
ISO/TR 18394-2016 表面化学分析. 俄歇电子能谱学. 提取化学信息
ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
ISO 16242-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱术(AES)的记录和报告数据
ISO 29081-2010 表面化学分析.俄歇电子能谱法.电荷控制和电荷调整用报告法
ISO/TR 19319-2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
，关于俄歇能谱的标准
GOST R ISO 16242-2016 确保测量一致性的系统. 表面化学分析. 俄歇电子能谱学 (AES) 的记录和报告数据
GOST R ISO 16242-2016 确保测量一致性的系统. 表面化学分析. 俄歇电子能谱学 (AES) 的记录和报告数据
英国标准学会，关于俄歇能谱的标准
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 16242-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱术的记录和报告数据(AEC)
BS ISO 16242-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱术的记录和报告数据(AEC)
BS ISO 20903-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱和X-射线光电光谱学.测定峰强度的方法和报告结果要求的信息
BS ISO 20903-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱和X-射线光电光谱学.测定峰强度的方法和报告结果要求的信息
BS ISO 29081-2010 表面化学分析.俄歇电子能谱法.电荷控制和电荷调整用报告法
法国标准化协会，关于俄歇能谱的标准
NF X21-072-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱术(AES)的记录和报告数据
NF X21-058-2006 表面化学分析.俄歇电子能谱学和X射线光电子光谱法.测定峰强度使用的方法和报告结果时需要的信息
美国材料与试验协会，关于俄歇能谱的标准
ASTM E984-2012 用俄歇电子能谱法鉴别化学效应和基体效应的标准指南
ASTM E995-2011 在俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中应用背景消除技术的标准指南
ASTM E996-2010 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E1127-2008 俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南
ASTM E984-2006 用俄歇电子能谱法鉴别化学效应和基体效应用标准指南
ASTM E996-2004 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E996-1994(1999) 俄歇电子能谱分析和X射线光电子光谱分析数据报告的标准规程
日本工业标准调查会，关于俄歇能谱的标准
JIS K0167-2011 表面化学分析.俄歇电子光谱和X射线光电子能谱学.匀质材料定量分析用实验室测定相对敏感因子的使用指南
韩国标准，关于俄歇能谱的标准
KS D ISO 19319-2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
KS D ISO 19319-2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
行业标准-电子，关于俄歇能谱的标准
SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则
行业标准-机械，关于俄歇能谱的标准
JB/T 6976-1993 俄歇电子能谱术元素鉴定方法
澳大利亚标准协会，关于俄歇能谱的标准
AS ISO 18118-2006 表面化学分析.俄歇电子能谱法和X射线光电子光谱法.均质材料定量分析中实验测定的相对灵敏系数使用指南
检测流程步骤
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