标准分类中，纳米 薄膜 仪涉及到长度和角度测量、分析化学、玻璃、机械试验、光学和光学测量、橡胶和塑料制品、物理学、化学、电子元器件综合、光学设备。

在中国标准分类中，纳米 薄膜 仪涉及到基础标准与通用方法、工业技术玻璃、物理学与力学、基础标准与通用方法、合成树脂、塑料、电子元件综合、合成树脂、塑料基础标准与通用方法、稀有金属及其合金分析方法。

市场监督管理总局、中国标准化管理委员会，关于纳米 薄膜 仪的标准

GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

中华人民共和国质量监督检验检疫总局、中国标准化管理委员会，关于纳米 薄膜 仪的标准

GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

质检总局，关于纳米 薄膜 仪的标准

GB/T 30447-2013 纳米薄膜接触角测量方法

GB/T 25898-2010 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量

GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜.元素深度分布的定量测定.辉光放电原子发射光谱法

，关于纳米 薄膜 仪的标准

PNST 60-2015 高分子共挤压薄膜改性纳米复合材料通用规格

PNST 60-2015 高分子共挤压薄膜改性纳米复合材料通用规格

GOST R 8.698-2010 确保测量一致性的体系.纳米粒子和薄膜的空间参数.利用小角度X-射线散射衍射仪的测量方法

英国标准学会，关于纳米 薄膜 仪的标准

BS PD IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米制造. 关键控制特性. 有机薄膜/纳米电子器件. 载波传输测量

电工委员会，关于纳米 薄膜 仪的标准

IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米制造.关键控制特性.第5-1部分:薄膜有机/纳米电子设备.载体运输测量

德国标准化学会，关于纳米 薄膜 仪的标准

DIN IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米加工.关键控制特性.第5-1部分:薄膜有机/纳米电子设备.载体运输测量(IEC 113/183/CD-2013)

美国通用公司()，关于纳米 薄膜 仪的标准

GMW GMW16170-2011 薄膜.纳米厚度(NT)的预处理一般质量要求.第2次出版(英文版本)

美国通用公司(北美)，关于纳米 薄膜 仪的标准

GM 9986321-2008 薄膜.纳米厚度(NT)预处理通用质量标准

韩国标准，关于纳米 薄膜 仪的标准

KS D 2715-2006 单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样

KS D 2715-2006 单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样

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