化学机械抛光检测范围
铝合金,薄膜,晶圆,半导体,陶瓷,硬脆材料,多晶硅,介质层,硅片,磷化铟,手机玻璃等。
检测项目:化学机械抛光检测
化学机械抛光检测标准
SJ 21127-2016化学机械抛光机通用规范
GB/T 40110-2021表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法测定硅片表面元素污染
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法 ——共焦点微分干涉光学法
检测流程步骤
温馨提示:以上内容仅供参考使用,更多检测需求请咨询客服。
铝合金,薄膜,晶圆,半导体,陶瓷,硬脆材料,多晶硅,介质层,硅片,磷化铟,手机玻璃等。
检测项目:化学机械抛光检测
SJ 21127-2016化学机械抛光机通用规范
GB/T 40110-2021表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法测定硅片表面元素污染
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法 ——共焦点微分干涉光学法
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