光刻胶成分分析单位测试流程是什么?检测项目及标准有哪些?检测实验室可根据GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范等相关标准制定试验方案。对光刻胶成分分析的分辨率、对比度、敏感度等项目进行检测分析。并出具严谨公正的检测报告。

检测项目：

成分分析、有效成分含量、杂质、分辨率、对比度、敏感度、粘滞性黏度、粘附性、抗蚀性、表面张力。

适用范围

负性光刻胶、正性光刻胶、光聚合型光刻胶、光分解型光刻胶、光交联型光刻胶、含硅光刻胶光刻胶等。

相关检测标准

GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范

AIR FORCE A-A-59404-1999 便携式液压油型光刻胶配量器

IPC MI-660 5.3-1984 干电影光刻胶

检测流程步骤

温馨提示：以上内容仅供参考使用，更多检测需求请咨询客服。