材料表面的微观几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能，近年来随着科技的发展，对各种材料表面精度也提出了越来越高得要求。
扫描电子显微镜是目前常见的用于表面形貌观察的分析技术。具有高分辨率，较高的放大倍数；景深效果好，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单；配有X射线能谱仪装置，可同时进行形貌观察和微区成分分析。
通过扫描电子显微镜观察材料表面形貌，为研究样品形态结构提供了便利，有助于监控产品质量，改善工艺。
观察的主要内容是分析材料的几何形貌、材料的颗粒度、及颗粒度的分布、物相的结构等。
应用范围：
材料、电子、冶金、航空、汽车电子、医学、机械加工、半导体制造、陶瓷品等。
检测步骤：
对样品进行表面镀铂金，按照标准作业流程放入扫描电子显微镜样品室中，对客户要求的检测位置进行放大观察并测量。
参考标准：
JYT 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则
检测流程步骤
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